请问大家自准直仪,激光干涉仪都是精密测量工具有什么区别与联系?

来源：学生作业帮编辑：拍题作业网作业帮分类：综合作业时间：2024/05/04 22:51:48

准直仪测量的是直线度,也就是目标的移动轨迹,如果是线激光+PSD原理的,精度跟重复性都可以达到0.001mm级别.
激光干涉仪主要是用来测量目标的定位精度的,也就是说测量目标的实际移动距离与控制系统的指令是否吻合,这个精度可以达到纳米的级别.如果是双频的,而且频率相差得比较大,比如7M以上的,两种波长激光的测量结果可以相互补偿,精度更高.
激光干涉仪也有测量轨迹,直线度的功能,但是由于测量原理的限制,精度只能勉强达到0.01mm.
所以安装导轨,测量孔心同心,等等跟直线度有关的测量,使用线激光+PSD准直仪,非常可靠.干涉仪仅仅适用于传动系统的定位精度测量,在直线度,平面度测量方面,要增加很多镜组,软件,调光路也很费时间,得不偿失.
另：按照ISO 230-6的标准,对于数控设备联动测量,校准的轨迹应该是空间的体对角线,将干涉仪（测量Z轴）与准直仪（测量X,Y轴）配合使用,能取得更好的效果,校准行程很长.

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