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四氟甲烷的主要用途是什么

来源：学生作业帮 编辑：拍题作业网作业帮 分类：化学作业 时间：2024/05/01 05:14:02
四氟甲烷的主要用途是什么
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻
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