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如何用PVD法或等离子体增强PVD法镀厚硅膜?

来源:学生作业帮 编辑:拍题作业网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/05/01 22:30:27
如何用PVD法或等离子体增强PVD法镀厚硅膜?
注:厚度超过50微米,还要考虑内应力和热应力,进行应力设计.
直接渡就OK