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真空磁控溅射镀膜 管靶做碳化钛黑膜 为什么产品有五彩 色不纯?

来源:学生作业帮 编辑:拍题作业网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/05/21 08:59:18
真空磁控溅射镀膜 管靶做碳化钛黑膜 为什么产品有五彩 色不纯?
产品材料为spcc(一种铁) 已做超声波清洗 正面还可以 夹缝和背面有五彩 真空镀抽到了6.0 -3.应该很够高了.钛打了7分钟底.充入乙炔外加少量氩气.镀膜时真空度大约维持在1.0 -1.时间也够久了.产品出来是黑色带五彩.请把可能的原因帮忙分析分析.讲讲工艺上的知识,
我公司要有镀膜机维修维护的事情要找人.我联系方式在我百度资料里.
镀膜时真空度大约维持在4.0 -1Pa,充入乙炔时不要太快,5个5个充,如果你充太快就会起彩了.
再问: 谢高人。那请问是不是一定要有点氩气?本来我打算把乙炔从80开始往上加,于是结果氩气留40,乙炔开80。发现真空度连-1都升不到,管靶放辉都一卡一卡的(双管靶,22电流),我一看充气严重不够啊,就20,20的往上加乙炔,渐渐加到360,结果真空度还只是1.0的-1啊我晕(也许是这路气流量计也太低了)。是不是我应该使用乙炔从80慢慢往上加,氩气从130慢慢往下减的策略呢。最后我想起码氩气留到六七十,要不然想达到4.0 -1Pa很难吧。
再答: 你好!工艺在这里是说不清楚的,我在上海工作,如果你需要帮助,可以联系我。
再问: 你好,没有你的联系方式啊,我看了你的百度资料也找不到你的联系方式。在这里留E-MAIL的话能显示出来不?
再答: 你好联系我吧。yangjs268@126.com