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半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么

来源:学生作业帮 编辑:拍题作业网作业帮 分类:化学作业 时间:2024/05/11 19:17:00
半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么
1 因为切割过程中会产生热量,使用去离子水进行冷却;
2 切割中会产生一些粉尘和碎屑,切得过程中要一直使用水来冲洗刀片.
使用去离子水是防止水中的可移动离子,比如Na\Cl之类对Wafer造成污染,影响后续的工艺.