目前直拉单晶硅用石英坩埚助于采用钡涂层,但该镀层与熔硅反应造成氧含量升高,怎么解决

来源：学生作业帮编辑：拍题作业网作业帮分类：综合作业时间：2024/05/07 01:26:01

目前直拉单晶硅用石英坩埚助于采用钡涂层,但该镀层与熔硅反应造成氧含量升高,怎么解决
最好是用其他镀层退换钡涂层,但目前所有企业基本都使用的是钡涂层,不知道还有没有其他好的镀层

首先,氧的的主要来源就是熔硅与石英坩埚反应,99%的氧挥发掉,1%的随单晶的生长,进入硅棒中,所以和是否涂层没有关系,除非不用坩埚,但是不可能的.
其次,涂层具有提高成晶率的作用,不用就是增大成本,更不切实际.
再次,降氧工艺可以通过其他工艺来解决,氧控制在0.8E17以内的工艺,目前对强大的单晶硅企业来讲,已经是非常容易了.
另外,可以透漏一个信息,目前有家大企业在研制新的涂层,因为钡涂层工艺,是国外的专利,国人的是在侵权.
再问：是我上面说错了，氧是来源于石英坩埚，采用钡涂层就是由于钡的分凝系数小，另外可使石英外层结晶延缓析晶，减少氧的进入。我的意思是有没有更好的涂层来阻止石英坩埚也熔硅的接触？
再答：请问你的目的是什么？
再问：从涂层方面入手，怎么降低石英坩埚中的氧进入熔硅
再答：改善坩埚透明层质量，涂层的话目前没有好的实用方案，都在研制中。

目前直拉单晶硅用石英坩埚助于采用钡涂层,但该镀层与熔硅反应造成氧含量升高,怎么解决为什么直拉单晶硅要用石英坩埚+石墨坩埚中国在直拉单晶硅方面为什么一上来就直接选用石英坩埚怎么提高单晶硅用石英坩埚透明层的质量石英坩埚在拉制单晶时发现坩埚涂层有脱落,造成整炉吊料但拆炉时未发现石英坩埚涂层有脱落的现象拉晶过程中石英坩埚内涂层脱落是什么原因拉单晶硅过程中对石英坩埚(22寸)侵蚀量大概多少? 为什么单晶硅用石英坩埚涂氢氧化钡多晶硅用石英坩埚涂氮化硅?两种不能互换吗?会有什么后果? 单晶硅石英坩埚喷涂是热涂好还是冷涂好呢? 单晶硅、多晶硅的制备直拉单晶硅、铸造多晶硅的具体工艺流程请问直拉单晶硅（CZ）区熔单晶硅（FZ）的英文全称? 石英坩埚涂层现在有多少种材料?