PECVD镀膜机一般抽到多少真空度

来源：学生作业帮编辑：拍题作业网作业帮分类：综合作业时间：2024/04/29 05:48:05

PECVD镀膜机一般抽到多少真空度

一般抽到5*10-4充氮气洗一遍再充氮气洗一遍,一共洗两遍,然后再用氢气洗,之后就是成膜工艺气体配比充.
再问：谢谢你的帮助，想问下哪里可以弄到相关的资料，感激不尽。
再答：具体工艺复杂了去了，书上说的都没用，必须得进行工艺摸索；你要是只想要真空方面的书我建议你看薄膜技术手册，分上下册，清华出的，比较全，你要是看基础的就看东北大学出的教材就成。

请问薄膜太阳能电池用的镀膜（PECVD）设备是什么? 什么事真空电镀膜? 真空溅射镀膜机的加热部分叫什么名字镀膜机真空达不到想换油,扩散泵怎么换油? 同样的真空度,分别用不同大小的束流镀膜,对真空镀膜机的影响有什么不同? 真空溅射镀膜机器可放几种靶材? 真空磁控溅射镀膜附着力差磁控溅射镀膜设备的工作原理?磁控溅射镀膜设备的真空度不够会有哪些影响? 谁知道真空蒸发镀膜和磁控溅射镀膜哪个更先进? 真空泵抽真空真空度等于多少汞镀膜机抽高真空抽不下去,不漏气,扩散泵刚换的油,是哪里的问题, 请教一下水环式真空泵的最高真空度可以抽到多少?