来源：学生作业帮 编辑：拍题作业网作业帮 分类：物理作业 时间：2024/04/27 03:07:16
硅片超声波清洗机采用了常用的超声波物理清洗法,有谁是比较了解这种清洗法的?
①刷洗或擦洗:可除去颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜.
②高压清洗：是用液体喷射片子表面,喷嘴的压力高达几百个大气压.高压清洗靠喷射作用,片子不易产生划痕和损伤.但高压喷射会产生静电作用,靠调节喷嘴到片子的距离、角度或加入防静电剂加以避免.
③超声波清洗：超声波声能传入溶液,靠气蚀作用洗掉片子上的污染.但是,从有图形的片子上除去小于 1微米颗粒则比较困难.将频率提高到超高频频段,清洗效果更好.
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