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管式PECVD与平板式PECVD机器镀膜的区别在哪里?

来源：学生作业帮 编辑：拍题作业网作业帮 分类：综合作业 时间：2024/04/25 19:27:04
管式PECVD与平板式PECVD机器镀膜的区别在哪里?
前者是在管子里,片子在石墨舟里作为电极镀膜,可以叫做直接式,后者则在石墨框上,不作为电极,可以叫做间接式.前者采用射频电源,后者则采用微波辉光.另外还有很多不同之处.
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