什么是深次微米

来源：学生作业帮编辑：拍题作业网作业帮分类：综合作业时间：2024/04/29 17:30:24

什么是深次微米

集成电路通常把0.8—0.35 m称为亚微米,0.25 m及其以下称为深亚微米,0.05 m及其以下称为纳米级.深亚微米制造的关键技术主要包括紫外光刻技术、等离子

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