来源：学生作业帮 编辑：拍题作业网作业帮 分类：综合作业 时间：2024/05/04 03:54:20
扩散泵前级管道里面发现有油是怎么回事,扩散泵的前级泵是增压泵,最后是滑阀泵,真空室和管道几乎都是油
这种问题发生没多久滑阀泵的抽真空能力大大的下降了，清理管道和真空室内油后，以前低真空可以只用滑阀泵抽到负一，可是现在只能抽到正一，零次方都进不了
你的初真空都抽不好,就应确认有漏真空现象,查找顺序,真空室-->阀门-->滑阀泵(特别是初真空转高真空时的截止阀门不能串通一气)解决好初真问题再谈高真空..
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